A légszűrő prototípusa egy légzésvédő eszköz, amelyet az emberek a légzés védelmére használnak. A feljegyzések szerint Rómában már az első században kenderből készült maszkot használtak az emberek védelmére a higany tisztítása során. Az azóta eltelt hosszú idő alatt a légszűrők is fejlődést értek el, de főként légzésvédő készülékként használják néhány veszélyes iparágban, például veszélyes vegyi anyagok gyártásában. 1827-ben Brown felfedezte az apró részecskék mozgásának törvényeit, és az emberek jobban megértik a levegőszűrés mechanizmusát.
A légszűrők rohamos fejlődése szorosan összefügg a hadiipar és az elektronikai ipar fejlődésével. Az első világháború idején a különféle vegyszerek használatának köszönhetően azbesztszálas szűrőpapírt füstszűrő rétegként használó katonai gázálarcok jöttek létre. Az üvegszálas szűrőanyagot 1940 októberében szabadalmaztatták az Egyesült Államokban. Az 1950-es években az Egyesült Államok mélyreható{4}kutatást végzett az üvegszálas szűrőpapír gyártási folyamatával kapcsolatban, amely továbbfejlesztette és továbbfejlesztette a légszűrőt. Az 1960-as években megjelentek a HEPA szűrők; az 1970-es években a mikro-üvegszálas szűrőpapírt használó HEPA-szűrők szűrőközegként a 013 mikron szemcseméretű részecskék szűrési hatékonysága elérte a 99,9998%-ot. Az 1980-as évek óta, az új vizsgálati módszerek megjelenésével, a jobb használat értékelésével és a szűrési teljesítményre vonatkozó megnövekedett követelményekkel, kiderült, hogy a HEPA-szűrők komoly problémákkal küzdenek, ezért nagyobb{13}}teljesítményű ULPA-szűrőket gyártottak. Az országok még mindig dolgoznak a kutatáson, és a becslések szerint hamarosan fejlettebb légszűrők is elérhetők lesznek.
